日本三丰 CS-H5000CNC表面粗糙和轮廓测量仪

简要描述：日本三丰 CS-H5000CNC表面粗糙和轮廓测量仪
• 高精度触针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。
• X1轴和Z2轴的*驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。
• X1 轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨力的轮廓/ 形状测量、表面粗糙度的批量测量。

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品牌MITUTOYO/日本三丰价格区间面议
产品种类接触式轮廓仪/粗糙度仪产地类别进口

日本三丰 CS-H5000CNC表面粗糙和轮廓测量仪

日本三丰 CS-H5000CNC表面粗糙和轮廓测量仪

• 高精度触针型CNC表面测量仪可以同时 进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。

• X1轴和Z2轴的*驱动速度分别为 40mm/s和200mm/s，可以高速定位， 从而提高了多重轮廓/多工件测量的效 率。

• X1 轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅 尺，从而可以实现高分辨力的轮廓/ 形 状测量、表面粗糙度的批量测量。

•Z1轴检出器采用主动控制方式，减少Z1 轴动态测力变化的同时扩展了测量范 围。

•Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置，当 仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检 测装置可以自动停止工作。

• CS-5000CNC带有a轴，可以通过电动 旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。

• 带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行 多工件定位，从而增加了多工件测量范 围。

• 可选的外部控制功能(外部I/O)，与PLC 实现双向通信(RS-232C)。

产品规格

货号

CS-5000CNC

CS-H5000CNC

X1 轴测量范围

200mm

分辨力

0.00625μm

长度基准

激光全息测微计

驱动速度CNC型

*40mm/s

操纵杆

0 - 40mm/s

测量速度

0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形状/轮廓)

 

测量方向

向前/ 向后

直线度(使用标准测针)

(0.1+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm)

(0.05+0.0003L)μm L: 驱动长度 (mm)

(使用二倍长型测针)

(0.2+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm)

(0.1+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm)

精度（20℃）

±(0.3+0.002L)μm L: 驱动长度 (mm)

±(0.16+0.001L)μm L: 驱动长度 (mm)

Z1 轴
(检出器		测量范围(使用标准测针)

12mm

12 μm

(使用二倍长型测针)

24mm

24 μm

分辨力(使用标准测针)

0.004 μm

0.001 μm

(使用二倍长型测针)

0.008 μm

0.002 μm

测针针尖垂直运

弧形移动

长度基

激光全息测微计

精度 (20oC)

±(0.3+|0.02H|)μm H: 测量高度 (mm)

±(0.07+|0.02H|)μm H: 测量高度 (mm)

测力(使用标准测针)

4mN (固定)

(使用二倍长型测针)

0.75mN (固定)

跟踪角度

向上: 60o, 向下: 60o, (根据表面粗糙度)

测针针尖形状标准测针

针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖

标准球头测针

球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石

2倍测针

针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖

2倍测针

—

针尖角度: 60o, 针尖半径: 2μm, 金刚石针尖

2倍球头测针

球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石

测针方向 

向下

Z2 轴
(立柱)		行程范围Z2 轴 (立柱, S 型)

300mm

Z2 轴 (立柱, H 型)

500mm

—

分辨力

0.05 μm

长度基准

反射型线性编码器

驱动速度CNC型

*200mm/s

操纵杆

0 - 50mm/s

基座尺寸 (W×D)

750×600mm

基座材

花岗岩

 

 

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